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The hardness of the tantalum nitride film is greatly influenced by N2 partial pressure.
氮分压对氮化钽薄膜的硬度影响较大。
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对电阻温度系数（TCR）的分析可确定溅射系统的工作点。
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本论文采用非平衡磁控溅射技术制备出不同成分、结构、物理性能和力学性能的Ta-O和Ta-N薄膜。
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Atomic ratio determination of tantalum nitride foil by transmissive scattering
穿透散射法测定氮化钽薄膜的原子比
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The Fabrication and Properties of Tantalum Oxide and Tantalum Nitride Films
Ta-O及Ta-N薄膜的制备及其性能研究
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